掃描式電子顯微鏡能夠提供納米級(jí)別的高分辨率圖像，其分辨率遠(yuǎn)高于光學(xué)顯微鏡。這是因?yàn)殡娮邮牟ㄩL比可見光短得多，能夠更清晰地觀察樣品表面的微小細(xì)節(jié)，如納米材料的顆粒尺寸、生物樣本的細(xì)胞結(jié)構(gòu)等。
-立體感強(qiáng)：具有較大的景深，能夠在保持高分辨率的同時(shí)，獲得大視野的清晰圖像，使樣品表面的凹凸不平結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)出明顯的立體感，有助于更直觀地了解樣品的表面形貌和三維結(jié)構(gòu)。
-樣品制備簡單：相對(duì)于透射電鏡等其他高分辨率顯微技術(shù)，對(duì)樣品的制備要求相對(duì)較低。樣品可以是塊狀、粉末、薄膜等各種形態(tài)，只需進(jìn)行簡單的處理，如清潔、固定等，即可直接放入電鏡中觀察，大大減少了樣品制備的復(fù)雜性和時(shí)間成本。
-成分分析功能：配備X射線能譜儀(EDS)等附件后，不僅可以觀察樣品的表面形貌，還能夠?qū)悠愤M(jìn)行微區(qū)成分分析。通過檢測樣品在電子束激發(fā)下產(chǎn)生的特征X射線，可以確定樣品中各種元素的種類和含量，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的形貌和成分的同時(shí)分析。
-廣泛的應(yīng)用范圍：在材料科學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、地質(zhì)學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)等眾多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。例如，在材料科學(xué)中用于研究材料的微觀結(jié)構(gòu)、表面缺陷、相變過程等；在生物學(xué)中用于觀察細(xì)胞、細(xì)菌、病毒等生物樣本的形態(tài)和結(jié)構(gòu)；在醫(yī)學(xué)中可用于病理診斷、藥物研發(fā)等方面。
掃描式電子顯微鏡測定步驟：
1.樣品制備
-清潔：去除樣品表面的污染物，如灰塵、油脂等。
-固定：保持樣品的形貌，防止在后續(xù)操作中發(fā)生變形。
-脫水：對(duì)于含水分的樣品，需進(jìn)行脫水處理，以避免電子束損傷。
-鍍膜：根據(jù)樣品性質(zhì)選擇合適的鍍膜方法，如濺射鍍金，以增強(qiáng)樣品的導(dǎo)電性和表面成像效果。
-安裝：將處理好的樣品固定在樣品臺(tái)上，確保樣品穩(wěn)定且與電子束垂直。
2.儀器預(yù)熱與參數(shù)設(shè)置
-預(yù)熱：打開掃描電子顯微鏡電源，進(jìn)行預(yù)熱，使儀器達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)。
-參數(shù)設(shè)置：根據(jù)樣品的性質(zhì)和觀察需求，設(shè)置合適的加速電壓、探針電流、工作距離等參數(shù)。
3.抽真空
-初級(jí)抽真空：關(guān)閉樣品室門，啟動(dòng)機(jī)械泵進(jìn)行初級(jí)抽真空，排除大部分空氣。
-高真空抽氣：當(dāng)真空度達(dá)到一定程度后，啟動(dòng)渦輪分子泵進(jìn)行高真空抽氣，直至達(dá)到儀器所需的真空度。
4.加載樣品與尋址
-加載樣品：在高真空狀態(tài)下，將裝有樣品的樣品臺(tái)放入樣品室，并關(guān)閉樣品室門。
-尋址觀察：通過粗定位和細(xì)定位，找到需要觀察的樣品區(qū)域。
5.圖像觀察與采集
-觀察：開啟電子束，對(duì)樣品進(jìn)行掃描觀察。通過調(diào)整焦距、亮度、對(duì)比度等參數(shù)，獲得清晰的圖像。
-采集：使用相機(jī)或計(jì)算機(jī)軟件采集圖像數(shù)據(jù)，并進(jìn)行保存和處理。
6.關(guān)機(jī)與清理
-關(guān)機(jī)：關(guān)閉電子束、真空系統(tǒng)和電源等設(shè)備，按照儀器操作規(guī)程進(jìn)行關(guān)機(jī)操作。
-清理：清理樣品室、鏡頭和儀器表面等部位，保持儀器整潔。
